東洋エンジニアリング、韓国の半導体薬液メーカーより現像液製造プラント建設を受注

この半導体ニュースのまとめ

・東洋エンジニアリングが、韓徳化学のTMAH製造プラント建設を受注
・新プラントは韓国・平澤市に建設され、2027年度完工、2027年9月の営業運転開始を予定
・新プラントの稼働で韓徳化学のTMAH生産能力は50％向上へ

韓国・平澤でTMAH製造プラントを受注

東洋エンジニアリングと同社の韓国子会社Toyo Engineering Koreaは、トクヤマと韓ロッテケミカルの合弁会社である韓徳化学(HANTOK CHEMICALS)より、韓国京畿道平澤(ピョンテク)市にてテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)の製造プラント建設プロジェクトを受注したことを発表した。2027年度の完工を予定しており、Toyo Engineering Koreaが資材調達、建設工事および運転支援を担当するという。

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  2026年6月19日に韓国平澤市で行われた韓徳化学平澤新工場TMAH製造プラント竣工式 (出所:東洋エンジニアリング)

フォトレジスト用現像液として使われるTMAH

TMAHは、半導体製造工程で広く使用されるフォトレジスト用現像液であり、一部では、シリコン基板の異方性エッチング液としても用いられるなど、先端半導体の需要拡大を背景に消費量の増加が見込まれている。

韓徳化学のTMAH生産能力を50％引き上げへ

トクヤマによると、韓徳化学は、同社とロッテケミカルの50％折半出資の日韓合弁企業で、韓国蔚山(ウルサン)広域市において1995年からTMAHの製造・販売を行ってきた。今回のプラント新設により、韓国におけるTMAHの生産能力を50％向上させる計画で、2027年9月の営業運転開始を予定しているという。

韓国で進む半導体材料の自国内生産体制強化

Toyo Engineering Koreaは今回のプロジェクトのみならず、今後も韓国で長年培ってきたプロジェクト遂行実績とエンジニアリングの知見を活かす形で、薬液製造工場建設をはじめとする半導体産業の発展に貢献しておくとしている。すでに同社は2025年にも韓国の化学メーカーBGFecospecialtyから、蔚山にて年間5万トンの無水フッ化水素を製造するプラント建設プロジェクトを受注するなど、韓国における半導体向け化学プラント建設を広く担当している。

2019年7月に日本の経済産業省がフッ化水素やレジストなどの半導体やFPDの製造に必要な材料の輸出審査の厳格化を実施したが、それ以降、韓国の政府および半導体企業は、経済安全保障上の理由から、レジストや現像液を含むすべての半導体用薬液や特殊ガスを自国内で製造できる体制に向けた取り組みを推進してきており、近年、次々と化学プラントの建設が韓国内で進められてきている。