半導体製造装置メーカーが日韓で拠点強化へ、Lamは四日市、ZEISSは龍仁

この半導体ニュースのまとめ

・ラムリサーチが三重県四日市市に新オフィスを開設し、技術・サービス拠点を統合
・四日市のNAND製造拠点に近接することで、AI時代の次世代NAND向け製造課題への対応力を強化
・ZEISS SMTは韓国・龍仁市に半導体イノベーションセンターを開設し、計測・検査やマスク修復技術の顧客支援を拡充

ラムリサーチが四日市市に新拠点を開設

Lam Researchの日本法人ラムリサーチが7月15日、三重県四日市に新オフィスを開設し、既存の四日市テクノロジーセンターと四日市サービスセンターを統合することを発表した。四日市市は世界有数のNAND製造拠点であり、新オフィスの開設によりラムリサーチの「顧客に近い場所で支援する」という戦略が推進されることとなる。

ラムリサーチの四日市新オフィスの外観と開所式の様子(提供:ラムリサーチ)

この新オフィス開設により、ラムリサーチはAI、クラウド、データ集約型アプリケーション向けの次世代NANDにおける複雑化する製造課題に顧客とより緊密に取り組み、その連携を深めることができるようになると説明している。

同社は2004年に四日市サービスセンターを、2017年に四日市テクノロジーセンターを開設。2026年まで半導体製造装置の顧客の工場への設置や保守、高度なトレーニングまで、幅広いサービスと技術サポートを提供し、顧客の安定した生産稼働と継続的な技術革新を支援してきた。今回の拠点集約により、顧客との連携が深まることとなり、AI時代に求められる迅速な技術開発と課題解決を支援できる基盤が整うことになるという。

ZEISSは韓国・龍仁に半導体イノベーションセンターを開設

一方、独Carl ZEISS(カールツァイス)子会社で半導体製造用計測装置およびマスク修復装置などを手掛けるZEISS Semiconductor Manufacturing Technology(ZEISS SMT)が7月10日に、韓国・龍仁市に半導体イノベーションセンターを開所したことを明らかにした。

龍仁はソウル近郊のSamsung Electronics(サムスン)やSK hynixの半導体工場に近く、かつ現在、新たな半導体製造拠点化に向けた工事も進んでいる土地で、ZEISSとしては、同センターの開所で存在感を強化し、韓国の半導体メーカーならびにフォトマスクメーカーとの関係強化に向けたプラットフォームの構築を進めるとしている。

同センターには、高精度の計測・検査技術やマスク修理技術を活用し、顧客のチップ量産および先端パッケージングのイノベーションを支援することを目的に、パッケージングの高度化を支える3D X線計測・検査ソリューション「NLX-100」、ウェハの反りを化学薬品を使わずに修正することが可能な計測・補正システム「DUNE 100」、フォトマスクの欠陥修理装置「MeRiT AE」が設置済みで、今後もさまざまな機器が設置される予定で、韓国顧客との早期技術協力を強化していくという。

なお開所式には、ZEISS SMTの社長兼CEOで、ZEISSの執行役員でもあるFrank Rohmund氏、ZEISS SMTのCTOであるThomas Stammler氏、同半導体ファブソリューション(SFS)部門責任者のKaroline Piegdon氏、半導体マスクソリューション(SMS)部門責任者のClemens Neuenhahn氏、2026年9月1日付でZEISS Koreaの責任者に就任予定のJaane Seehusen氏のほか、韓国の半導体業界関係者、在韓ドイツ大使館、在韓欧州連合商工会議所、在韓ドイツ商工会議所の代表者が出席したという。