デジタル露光機向けDMDをTIが発売

Texas Instruments(TI)はデジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)の新製品として8.9Mピクセルでサブμmの解像度機能、毎秒110Gピクセルのデータレートを備えた「DLP991UUV」を発表した。

フォトマスクや高価なステンシルを使用せずに、光を投影して基材に回路パターンをエッチングするマスクレス・デジタル・リソグラフィ装置が、複数のチップや技術、チップレットなどを1つに集積する先端パッケージングの領域にて活用されつつある。

先端パッケージング領域以外の分野にも応用展開が可能

そうしたマスクレス・デジタル・リソグラフィに用いられる光学系がDLP(デジタルライティングプロセッシング)で、同製品もそうしたDLPの1つに位置づけられる。同製品は、同社のダイレクトイメージング製品群における最新かつ最上位デバイスに位置づけられており、5.4μmのミラーピッチにより8.9Mピクセルを超す解像度を実現しつつ、毎秒最大110Gピクセルの高速データ処理性能を提供することが可能。また405nmにおいて22.5W/cm2の出力レベルを実現しつつ、343nmまでの短波長で動作することが可能となっている。

  • DMDを用いた露光のイメージ

    DMDを用いた露光のイメージ (出所:TI)

同社では同製品をプログラム可能なフォトマスクとして機能させることで、信頼性の高い高速性能とともに正確なピクセル制御を提供することができるようになるとしており、先端パッケージング領域のほか、マシンビジョンやホームシアター、自動車のインテリジェントライティングなど、幅広い応用が可能だとしている。

なお、同製品は現在、同社のWebサイト経由にて量産開始前の数量で入手可能となっているという。