東京大学(東大)とJSRの両者は1月17日、これまで必要とされていたいくつもの工程を削減し、半導体露光プロセスのみを用いてメタレンズ(平面状のレンズ)を大量生産できる手法を開発したと共同で発表した。

  • 半導体露光プロセスのみで作製した平面レンズと集光の様子

    半導体露光プロセスのみで作製した平面レンズと集光の様子(出所:東大Webサイト共同プレスリリースPDF)

  • 半導体露光プロセスのみによる平面レンズ作製手法の模式図

    半導体露光プロセスのみによる平面レンズ作製手法の模式図。ガラス基板上にカラーレジストをスピンコートし、半導体露光装置で紫外線を照射して現像するだけでフレネルゾーンプレート型光学レンズの作製が完了する(出所:東大Webサイト共同プレスリリースPDF)

同成果は、東大大学院 理学系研究科の小西邦昭准教授、同・山田涼平特任研究員(研究当時)、JSRの岸田寛之氏らの共同研究チームによるもの。詳細は、英科学誌「Nature」系の光学とフォトニクスに関する全般を扱う学術誌「Light:Science & Applications」に掲載された。

さまざまな光学機器において使用されるレンズは、これまで長らく、透明材料に研磨などの作業を加え、必要な曲率を持った球面状に加工することで作製されてきた。しかし近年になり、リソグラフィなどの微細加工技術を用いて作製した光の波長と同程度以下のサイズであるサブμmの人工構造を用いることで、新しい原理のメタレンズと呼ばれる平面状のレンズを作る技術が発明された。

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