半導体用フォトレジスト大手の東京応化工業(TOK)が、韓国でのフォトレジスト生産量を2021年末までに2倍以上に増やす模様であると韓国のハイテク専門メディアAI Timesが半導体業界関係者の話として報じている。

今回の増産品目の中には、同社が2020年より韓国で生産を開始したEUVフォトレジストも含まれているという。同紙によると、東京応化の現地法人はレジストの韓国国内での生産量を増やす計画は事実だが、具体的な数量などについては非公開としているという。

EUVレジストは、東京応化のほか、JSR、信越化学など日本企業に対する依存度が90％程度と高いため、韓国政府は韓国資本による国産化を奨励しているほか、海外資本の韓国内への投資を誘致してきた経緯がある。その結果、韓SKグループの素材メーカーSK Materialsやフォトレジスト・半導体素材メーカーのDongjin Semichem(東進セミケム)などといった韓国系企業がEUVレジストの開発に乗り出しており、SK MaterialsのEUVレジストが完成間近の段階に来ていると言われている。

今回の東京応化の韓国での生産数量増加の動きについて、韓国の半導体材料業界関係者は、こうした競合企業の動きに対し、韓国市場での競争力強化と市場シェアの確保を図るために決めたのではないかとの見方を示している。

すでに韓国では、Samsung Electronicsが7nmプロセス以降のロジックデバイスの製造にEUVを適用しているほか、先端DRAMの一部にも適用を開始している。また、Samsungの競合であるSK Hynixも、先端DRAM製造ラインM16にEUVを導入し、立ち上げを急いでいる段階にあり、韓国でのEUVレジスト使用量は2021年下期から増加することが予想されている。