日東電工、半導体製造などで発生する排水の処理・再利用向け耐汚染RO膜を発売

この半導体ニュースのまとめ

・日東電工が高難度排水の再利用に適した耐汚染RO膜エレメントを発売
・独自技術で有機物やコロイド粒子の付着を抑制
・膜洗浄頻度の低減により従来製品比で約2倍の膜寿命延長化

産業分野の高難度排水の再利用に適した耐汚染RO膜エレメント

日東電工は9月7日、半導体製造をはじめとする各種産業の製造工程で発生する高難度排水の再利用に適した耐汚染RO膜エレメント「PRO-XR1-X-LD」を発売したことを発表した。

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  高難度排水の再利用に適した耐汚染RO膜エレメント「PRO-XR1-X-LD」 (出所:日東電工)

処理難度の高い産業用途の課題に対応するRO膜エレメント「PROシリーズ」

RO膜は、水中の不純物を除去する分離膜として、工業用水の製造や排水再利用など幅広い用途で活用されてきた。近年、水資源の有効活用や環境負荷低減への対応などに対する産業排水の再利用ニーズが高まりを見せている一方、半導体製造工程における排水には、有機物や微粒子など膜汚染(ファウリング)の原因となる成分が多く含まれており、ファウリングの進行に伴い処理性能が低下し、膜の洗浄や交換頻度が増加するため、運転コストや環境負荷が増大するという課題があった。

同社は、こうした処理難度の高い産業用途の課題に対応するRO膜エレメント「PROシリーズ」を展開してきており、今回の製品はその中でも、高難度排水処理における膜汚染の抑制を追求した耐汚染RO膜エレメントに位置づけられるという。

独自技術で有機物やコロイド粒子の付着を抑制

独自の表面コーティング技術と流路構造の最適化により、有機物やコロイド粒子の付着を抑制することで、高い不純物除去性能を維持しながらファウリングによる性能低下を抑え、高負荷な排水条件においても安定した処理性能と効率的な水回収を実現することが可能なほか、膜洗浄頻度の低減により、従来製品比で約2倍の膜寿命延長を可能にしたため、メンテナンス負荷や運転コストの削減が可能となったほか、水資源の効率的な再利用による製造プロセス全体の環境負荷低減が可能になったとする。

なお、同社は2026年5月に発表した中期経営計画において、分離膜事業を含む「グリーンテック」を成長分野の1つとして位置付けており、今後も、半導体製造をはじめとする産業分野における水処理ニーズに応える製品・ソリューションを提供していくことで、顧客の水資源の有効活用と環境負荷低減に貢献していきたいとしている。