官報公告で明らかになった森田化学の苦境

フッ化水素(HF)製品専業メーカーの森田化学工業が、2019年7月より開始された経済産業省(経産省)による対韓半導体・ディスプレイ素材3品目の輸出管理強化により、業績に大きな影響がでていることが2020年9月29日付の官報に掲載された同社の2020年6月期末(第83期)の決算公告から明らかになった。

それによると、2019年6月期には8億円ほどあった純利益が、2020年6月期には前年度比90%減の7800万円にまで減少していることが明らかになった。これは、2019年7月以降、同社のフッ化水素酸(半導体製造でシリコン酸化膜のエッチングに使うHFの水溶液)が長期間にわたって韓国へ輸出できなかったことが影響している。現在、経産省は同社の韓国の顧客に向けた輸出に対する許可を出しているが、すでに韓国では自国資本の化学薬品・素材メーカーであるSoulbrain、ENF Technology、RAM Technolなどがフッ化水素の増産を図っており、しかも後述するように韓国の大手化学メーカーSK Materialsに至ってはHFガスに続いてHF液(フッ化水素酸)へも参入準備を進めているため、森田化学の韓国への輸出が規制強化前に戻ることはないと韓国半導体業界関係者は見ている。

韓国政府は中国からのフッ化水素原液輸入に支援金

韓国貿易保険公社が最近、国内のとある中小企業がフッ化水素原液を中国から輸入するのに対し17万ドルを支援したことが、韓国の国会議員に提出した資料から明らかになったと10月2日付けで東亜日報(韓国語版)が報じている。

対象となった会社は、中国からフッ化水素原液を輸入して1次加工してSK Materialsに納品するという。SK Materialsは、これを高純度で加工して、Samsung ElectronicsとSK Hynixなどに納品することを予定しており、同紙によれば、韓国の国内素材部品産業を育てるための政府支援が本格化してきていることを示す動きだという。

SK Materialsは、高純度ガスとIT(半導体・ディスプレイ・太陽電池)向け素材の専門メーカーで、2019年末にそれまで100%日本からの輸入に頼っていた超高純度フッ化水素ガスの開発に成功し、同社永住(ヨンジュ)工場内に15t規模の生産施設を建設するなど、国産化作業を進め、2020年6月より生産を開始したという。同社は2023年までに供給する超高純度フッ化水素ガスの国産化率を70%まで引き上げることを目標として掲げている。

また同社は、2020年6月には、最先端の半導体プロセスで使用される高純度フッ化水素酸(液体)の国産化にも着手。2020年中にサンプル出荷を始め、2023年までに量産することを目指している。

フォトレジストやマスク製造にも乗り出すSKグループ

SK Materialsは、2020年3月にクムホ石油化学(KUMHO PETROCHEMICAL)からフォトレジスト事業も買収し、海外(特に日本)依存度が90%に達しているArFリソグラフィ向けレジストの生産工場を2021年に竣工することも計画している。

新工場は2022年から年5万ガロンの生産規模を目標としている。また、EUVレジストについては、韓国政府による米DuPontの工場誘致が成功しているほか、東京応化工業もDuPontが進出する前に市場を確保しようと、韓国内の工場での生産を開始している模様だ。

また、同じくSKグループの大手化学メーカーSKCは半導体製造用ブランクマスクを年内にも量産する計画であることを明らかにしている。SKグループの司令塔としてSKグループ企業全社を統括するSK Holdingsは、2019年8月、外部の研究機関や識者の協力を得て「IT素材ソリューションプラットフォーム」を立ち上げ、グループの総力をあげて半導体製造用素材国産化を積極的に進めている。

グループ企業には、半導体デバイスメーカーのSK Hynix、シリコンウェハメーカーのSK Siltornなどもあり、ウェハ、素材、デバイスという半導体関連事業の垂直統合が進められていることとなる。

なお、SK Siltronの300mmウェハは、SK Hynixのほか、Samsung ElectronicsやIntel、キオクシアなどの半導体メーカーにも供給しており、新たな製品群となるレジストやフッ化水素なども同様にグループ外の企業にも販売を進めていく方針だという。