セントラル硝子は1月16日、2nmプロセス以降の半導体製造工程で用いられるエッチングガス「CEG 39A」の量産体制を山口県の同社宇部工場にて整備、ロジック半導体向けに本格販売を開始したことを発表した。
同エッチングガスは2nmプロセス以降のトランジスタにて本格的に採用されるGate All Around(GAA)構造に適応されたもの。既存ガスの5倍以上の選択比という特徴により、高い加工精度制御を実現しつつ、2倍以上の加工速度を実現するという。
また、地球温暖化係数(GWP)がゼロであることに加え、PFASフリーでもあるため、環境負荷を低減することも可能だという。