ディスコは11月21日、150mm(6インチ)ウェハに対応する省フットプリントなセミオートマチックダイシングソー「DAD3221/DAD3231」を発表した。

2製品ともに、軸速度および装置内通信速度の高速化することで従来期比で加工時間を5%短縮したほか、オートアライメント、オートフォーカス、オートカーフチェックなどの画像認識機能を標準搭載することで、オペレータの作業工数の最小化を可能としたもの。さらに、高トルク2.0 kWスピンドルを標準搭載することで、ガラス、セラミックスなどの難削材や厚いワークに対する安定したダイシングを可能としたほか、オプションとして高速回転1.8 kWスピンドルも用意されている。

また、顕微鏡光源に高演色LEDを採用することで、従来のハロゲンランプ比で省エネを実現しつつ、光量調整時の反応速度向上も実現したという。

加えて、DAD3231は、オプションとして200mm(8インチ)ウェハに対応するほか、特殊対応として(210mm×210mmまでのワークに対応することが可能で、切断加工のニーズの多様化にも対応できるとしている。

なお、2製品ともに2017年4月の販売開始を予定しているという。

DAD3221の外観

DAD3231の外観