レポート

2016/10/13 10:00:00

次世代半導体微細構造や新材料の洗浄技術を議論 - UCPSS2016

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半導体ナノテクノロジー研究機関であるベルギーimec主催の「UCPSS2016」が、9月12日~14日、ベルギー クノックで開催され、ますます脆弱で複雑になる半導体デバイスの超微細構造や新材料の洗浄・乾燥に関して活発に議論が交わされた。

目次

1 世界中から半導体関連の洗浄技術者が集結
2 日本からの論文発表は7件
3 最多発表者はimec