半導体ウェハ自動搬送装置メーカーのローツェは、中国でのEFEM(Equipment Front End Module)製造を強化するため準備を進めてきた新工場(上海市自由貿易試験区域内)が完成し、これに合わせて上海に中国国内での製造を事業とする子会社RORZE CREATECH SEMICONDUCTOR EQUIPMENTを設立したことを発表した。

子会社と新工場は同一住所に設置されており、地上2階建ての貸工場(6600m2)を改装したものとなっている。10月から稼働を始め、中国での同装置の組み立て能力は従来の8倍に拡大される見込みだという。

EFEMは、それぞれの半導体プロセス装置の前面に設置され、大気搬送ウェハロボットを設置し、前面にロードポートを取り付けた装置で、ウェハを装置に自動的に出し入れするために使用される。

  • 9月に改装が完了したローツェの中国上海新工場

    2022年9月に改装が完了したローツェの中国上海新工場

なお、中国工場の完成に先立ち、9月上旬にベトナムのハイフォン市 野村工業団地内にベトナムで8棟目となる工場「RORZE ROBOTECH A10」が完成。稼働を開始したことも明らかにしている。A10工場の敷地面積は約1万m2で、地上5階建ての建屋の延べ床面積は約3万m2としている。

  • 9月に竣工したローツェのベトナムA10工場

    9月に竣工したローツェのベトナムA10工場