レポート

2015/12/02 07:00:00

IoTやIndustrie 4.0を先取りする半導体製造現場 - 先進装置・プロセス制御(AEC/APC)シンポジウム2015

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次世代半導体生産向け製造装置および製造プロセスの自動制御に関する国際シンポジウム「AEC/APC Symposium Asia 2015」が、「インダストリー4.0時代の境界なき交流の場」というテ―マの下、開催された。

目次

1 いかにインテリジェントを持たせ高効率に半導体を生産するのか?
2 ベストぺ―パ―アワードを受賞したのはルネサス