ニコンは6日、半導体露光装置であるArF液浸スキャナの生産能力を増強するため、埼玉と栃木に2つの新棟を建設すると発表した。現在の2倍以上となる年間90台規模へと拡大する。

新棟の建設場所は、同社の熊谷製作所(埼玉県熊谷市)と関連会社の栃木ニコンプレシジョン(栃木県大田原市)の2カ所。建物と生産設備を合わせた投資額は、2008年度から2010年度の3年間で約350億円を見込んでいる。

2つの新棟の延床面積は合計で約1万6,000平方メートル。来年(2009年)12月より操業を開始する。