ニコン、G10.5対応のFPD露光装置「FX-103S/FX-103SH」を発売

ニコンは2月22日、4Kテレビや今後普及が期待される8Kテレビ、高精細タブレットの液晶パネル、有機ELパネルなどの量産に最適な第10.5世代(G10.5)の基板に対応するFPD露光装置「FX-103S/SH」を発表した。

今回発表された2種類の露光装置は、同社の第6世代対応露光装置「FX-67S2」と、第8世代対応露光装置「FX-86SH2」の技術を融合し、高精細な大型パネルの生産に最適化したもの。FX-103Sは、生産性向上を目指し、第10世代露光装置「FX-101S」の露光シーケンス、キャリブレーションシーケンスを刷新することで、より高速かつ高精度な露光を実現した。一方のFX103SHは、FX-86SH2で採用された独自の解像度向上技術を適用した照明系とマルチレンズシステムを、G10.5向けに最適化したほか、マスクたわみやプレート平面度などの誤差を最適に補正する新たなオートフォーカスシステムも搭載。これにより、2.2μm(L/S)の解像度を達成しながら、広い実用焦点深度も同時に確保することを可能にしたという。

加えて、計測制度の向上に向け、位置計測システムも新たに設計しなおして搭載。これにより±0.5μmの高精度アライメントを実現したとする。

これらの結果、65型パネルを生産する場合、FZ-101Sに対し、スループットは77%増の毎時480枚を達成したほか、75型であっても毎時322枚を達成できるという。