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imecが推進するロジック半導体高集積化の鍵を握るBSPDN、その特徴を理解する

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imecが推進するロジック半導体高集積化の鍵を握るBSPDN、その特徴を理解する

半導体の微細化で取り上げられるのはFEOL、主にトランジスタ形状の変化であるが、近年BEOLの進化にも注目が集まっている。

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