高精度な部品製造の仕上げに欠かせない研磨

アルゴヴィジョンテクノロジズは9月18日、半導体製造装置の部品に対する高精密な仕上げを可能とする独自技術「流体研磨装置技術」を発表した。

半導体の製造プロセスの微細化を実現するためには、その製造装置にも高い精度とクリーン度を持つ部品の活用が求められている。しかし、そうした製造装置に用いられる金属部品やセラミック部品は、製造過程で「表面の凹凸」や「微細な傷」「バリ」といった加工残りが生じてしまい、半導体製造時の歩留まり低下や装置寿命の短縮につながることが懸念されており、その対処としての部品製造における最終工程として「研磨」が必要とされている。

研磨材と水を混ぜた流体でナノレベルで凹凸をならず

今回、同社は微細な研磨材と水を混ぜた流体を高速で部品内面に流し、ナノレベルで凹凸をならす独自の流体研磨装置技術を開発。これにより、従来の機械的な研磨では難しかった複雑な形状や内部流路でも、流体が隅々まで行き渡ることで均一な研磨が可能になるとする。また、人の手や通常の研磨機では不可能な内部まで対応できるほか、量産部品でも安定した品質を保証できるとしている。材質としても2000mmまでを対象(対応内径はφ0.1～φ5.0)に、ステンレス系(303、304、316、316L、SUS420J2、etc)、チタン系(純Ti、Ni-Ti、64Ti、etc)、アルミ系(ALSi10Mg、ジュラルミン、etc)、コバルト合金系(エルジロイ、Mp35N、etc)、ニッケル合金系(インコネル718、ハステロイX、etc、銅系(cu、etc)、その他(S45C、SCM415、SKD61、マルエージング鋼、モリブデン、etc)と幅広く対応しているとしており、これらの材質やサイズについても、問い合わせをしてもらいたいと同社では説明している。

  • 研磨前の細穴流路研磨サンプ

    研磨前の細穴流路研磨サンプル (出所:アルゴヴィジョンテクノロジズ)

  • 研磨後の細穴流路研磨サンプ

    研磨後の細穴流路研磨サンプル (出所:アルゴヴィジョンテクノロジズ)

なお、同社では自社の部品を試しに磨いてみたいといったニーズへの対応として、装置を販売するのみならず、受託研磨のサービスも提供しており、まずは部品を預けて成果を体感してもらいたいとしている。