島津製作所は、省スペースかつ低ランニングコストながら排気性能に優れた小型のターボ分子ポンプ「TMP-B70形」の販売を開始した。価格は70万円〜(税別)。

ターボ分子ポンプ「TMP-B70形」

ターボ分子ポンプ「TMP-B70形」

ターボ分子ポンプは、高速に回転するタービンによって高真空状態を作り出すことができる真空ポンプ。ターボ分子ポンプの中でも、磁気軸受とセラミック玉軸受を組み合わせた方式を採用する小型モデルは、真空プロセスが必要な産業機器や分析機器のキーコンポーネントのひとつとして重要な役割を担っている。

今回販売を開始した「TMP-B70形」は、小型真空排気装置のような産業機器や光学機器、質量分析計や表面分析装置、電子顕微鏡のような分析機器への組み込み用途のほか、さまざまな研究用途で利用しやすい小型モデル。

コンパクトながら高い圧縮・排気性能を有しているため、排気側から吸気側への逆流が生じにくく、高真空な環境を作り出すことができる。

また、タービンの軸受部および制御機構の最適化、新開発したモータの採用により、動作効率が向上。セラミック玉軸受の推奨交換周期は無負荷運転時において5年で、消費電力は同社の従来モデルと比較して約60%低減している。

さらに、本体が垂直・水平・倒立のいずれの状態でも動作するため、搭載機器の小型化や設計の自由度を高めることが可能。また、起動や停止操作が可能な操作パネルをポンプ本体に搭載し、発売の視認性に優れた電源付き表示ユニットを接続することで、ターボ分子ポンプ本体に電源を供給しながら稼動状態を確認できる。