オーク製作所のダイレクト露光装置にフライアイレンズを提供

岡本硝子は9月24日、同社のフライアイレンズがオーク製作所の先端パッケージ向けダイレクト露光装置に採用されたことを明らかにした。

オーク製作所のダイレクト露光装置は、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託事業「省エネエレクトロニクスの製造基盤強化に向けた技術開発事業」の一環として開発されたフォトマスクを使用せず、高い解像度と位置合わせ精度を実現できる後工程向け露光装置で、フライアイレンズは微小レンズを格子状に並べた光学素子で、露光光の照度分布を均質化し、安定した露光を実現する役割を担っている。

  • 開発されたダイレクト露光装置試作機の1/20モデル

    オーク製作所が開発したダイレクト露光装置試作機の1/20モデル

露光装置の特徴として、1μmクラスの微細な回路であっても、高度なつなぎ合わせを実現することを可能としているほか、2μmのめっき配線を形成可能であることも確認済みとしている。また、ブリッジチップが動いた状態を装置側で補正して、露光データにその回転のずれを合わせこんで補正する「ダイ・バイ・ダイアライメント補正技術」など、さまざまな高性能化に向けた技術を搭載しており、そうした高精度・高解像度を実現する1つの要素としてフライアイレンズが活用されているとされる。

なお、オーク製作所のダイレクト露光機の商用機「SDi-1050h/2050i」は2025年中の市場投入が決定しており、すでに受注活動も開始されている。