ルネサス甲府工場が稼働開始 - パワー向け300mmラインとして2025年量産開始へ

ルネサスエレクトロニクスは4月11日、特に電気自動車(EV)向け需要の拡大を見据えたパワー半導体の生産能力増強のために、山梨県の同社甲府工場においてクリーンルームの稼働を開始したことを発表した。

これに際しルネサスは、甲府工場の開所式を開催。同社取締役代表執行役社長兼CEOの柴田英利氏らが、同工場の稼働開始にあたって今後への展望を語った。

ルネサス甲府工場の外観

ルネサス甲府工場の開所式で行われたテープカットの様子

“不死鳥のように舞い戻った”ルネサス甲府工場

ルネサス甲府工場は、同社の100％子会社であるルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリングの傘下として、150mmおよび200mmウェハに対応した生産ラインを有していたものの、2014年10月に一度稼働を停止。同工場の売却に向けた動きを進めていた。

しかし2022年5月、脱炭素化社会の実現に向けて高まるパワー半導体の需要に対応するため、ルネサスは甲府工場の現存する建屋を有効活用し、パワー半導体専用の300mmラインとして稼働させることを決定。同年内に900億円規模の設備投資を行い、排水施設を新設するなど設備の再構築に着手し、最大1万8000m²のクリーンルーム面積を有する工場として、地元自治体やさまざまな企業の協力を得ながら、今般の稼働開始に至ったとする。

今回公開されたルネサス甲府工場のクリーンルーム。現在稼働しているのは6000m²で、半導体製造装置や自動搬送装置もこれから追加されていくという

開所式の中でルネサスの柴田氏は、甲府工場について「一度稼働を停止したものの、不死鳥のように舞い戻ってきた」と表現し、「ルネサスの中でも先進的な工場にするべく準備を進めてきた」と話す。また今後の生産については、IGBTやパワーMOSFETなどといったパワーディスクリートデバイスの量産を、2025年に開始する予定だとし、同社のパワー半導体生産能力を現在の2倍に増強するとしている。