HORIBAグループで水・液体計測事業を担う堀場アドバンスドテクノは3月26日、半導体製造プロセスに使用される薬液の濃度を測定する光ファイバ式非接触型薬液濃度モニターの新製品「CS-900F」を同日に発売することを発表した。

  • 光ファイバ式非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」

    新発売の光ファイバ式非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」(出所:堀場アドバンスドテクノ)

半導体製造プロセスのフットプリント低減に貢献

半導体の製造工程における薬液処理は、表面処理の均質性にも影響することから歩留まりを左右する重要な工程とされ、薬液の厳密な管理が求められている。堀場アドバンスドテクノは、半導体製造プロセスにおける洗浄やエッチングなどの工程で用いられる薬液の濃度を測定する「CS」シリーズを1995年に発売して以来、ニーズに応じた進化を続けてきたとのこと。2019年には、配管内の薬液に触れることなく測定結果を得られる非接触型の薬液濃度モニター「CS-100」を発売していた。

そして同社は今般、その後継機となる新製品「CS-900F」を発売。同製品では、配管に取り付けるだけで薬液を非接触測定できる方式を採用し、薬液漏れやコンタミネーションのリスクを低減するという。
  • 半導体洗浄装置への新製品設置イメージ

    半導体洗浄装置への新製品設置イメージ(出所:堀場アドバンスドテクノ)

また新製品の特徴のひとつとして、光ファイバ式の採用が挙げられた。これは、半導体業界における共通ニーズであるフットプリント低減に貢献するものだといい、分光器をメインユニット側へと移設することで、顧客の装置内に設置するセルユニットの体積を従来比で約60％削減したとする。加えて同製品では、セルユニットにCSシリーズが強みとする安定性の高いリファレンス機構を内蔵。これにより、振動などの外乱影響を低減し、高い測定精度の維持とフットプリント低減の両立を実現したとしている。

さらに堀場アドバンスドテクノによると、新製品でも従来製品の優位性は引き継がれ、最高80℃までの高温薬液を含む幅広い薬液の測定が可能とのこと。波長域は従来比で約3倍となり、対応可能な薬液の種類が拡充されたという。そのため同製品では、標準的なSC-1(アンモニア過酸化水素水溶液)だけでなく、硝酸・リン酸・酢酸の混合液などといった複雑かつ危険な薬液を使用するプロセスにおいても、前処理を必要とせず高温薬液を直接測定でき、安全な作業性に貢献するとした。

なお同社は、CS-900Fの希望販売価格を700万円～(税抜)としたうえで、2026年度の販売目標として100台を掲げており、CSシリーズの誕生からおよそ30年の歴史で培われた技術を活かして、市場ニーズに寄り添いながらさらなる普及拡大を目指すとしている。