後工程完全自動化のパイロットラインの設置先を正式決定

半導体製造のパッケージング・アセンブリやテスト工程などの後工程プロセスのトランスフォーメーションおよび完全自動化・標準化にかかる研究開発を推進する「半導体後工程自動化・標準化技術研究組合(SATAS)」は6月19日、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)から受託した「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発/半導体後工程自動化・標準化の開発・実証に関する研究開発」において、パイロットラインサイトとしてシャープ亀山工場を正式に選定したこと、ならびに同工場内の一部建屋の環境整備に向けて着工したことを発表した。

  • シャープの亀山事業所の外観

    シャープの亀山事業所の外観 (出所:STATS)

SATASの取り組み内容は、後工程の完全自動化に向けて、必要となる各製造装置間の物理的・論理的な業界標準インタフェースの仕様の作成、ならびに同仕様に従った製造装置の開発と実装、および単体試験の実施を踏まえた各製造装置を統合した形でのパイロットラインでの結合試験や動作検証を行おうというもの。

パイロットラインの稼働は2027年度中を予定

これらの活動を通じて、パイロットライン全体としてのエネルギー生産性改善にもつなげていくことを目指しており、パイロットラインの設置先として選定されたシャープの亀山工場についてSATASでは、コンセプトに基づく後工程完全自動化ラインを構築するために必要な環境が整っていることが選定理由であるとしており、今後、同工場の建物、施設、設備などを活用する形でのパイロットラインの構築を進め、2027年度中の稼働開始を目指すとしている。

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