セントラル硝子は1月16日、2nmプロセス以降の半導体製造工程で用いられるエッチングガス「CEG 39A」の量産体制を山口県の同社宇部工場にて整備、ロジック半導体向けに本格販売を開始したことを発表した。
同エッチングガスは2nmプロセス以降のトランジスタにて本格的に採用されるGate All Around(GAA)構造に適応されたもの。既存ガスの5倍以上の選択比という特徴により、高い加工精度制御を実現しつつ、2倍以上の加工速度を実現するという。
また、地球温暖化係数(GWP)がゼロであることに加え、PFASフリーでもあるため、環境負荷を低減することも可能だという。
なお、半導体トランジスタ構造については、GAAの先の技術としてCFET(Complementary Field-Effect Transistor)をはじめとする次世代技術の開発が進められており、同社もそうした次世代トランジスタ構造や顧客ニーズ、環境ニーズに対応する新たな開発や提案を引き続き推進していくとしている。