ASMLが韓国・華城市のSamsung Electronics華城事業所の近隣地に「ASML華城キャンパス」を12月16日にも着工する模様だと韓国メディアのFinancial Newsが報じている。

これにより、グローバルな半導体製造装置市場で60％以上のシェアを有する大手半導体製造装置4社の研究開発(R＆D)拠点が韓国ソウル郊外の京畿道に集まることになった。

ASMLが約2400億ウォンを投資する華城キャンパスには半導体露光装置修理センターや次世代半導体露光装置(EUV露光装置)技術サービスセンターなどが入る予定だという。

すでに2022年7月にApplied Materials(AMAT)が、韓国の通商産業資源部(日本の経済産業省に相当)と投資意向業務協約(MOU)を締結し、京畿道にR＆Dセンターを建設することを発表済み。日本の東京エレクトロン(TEL)も2000億ウォンを投資して既存のR＆D施設を増築することを決定した。TELは2012年、大手製造装置メーカー4社の中で真っ先に京畿道華城にR＆Dセンターを設立している。残るLam Researchも2022年4月、京畿道龍仁市の池谷産業団地にR＆D施設である「Korea Technology Center(KTC)」を開設している。