SK Hynixが、本社工場に竣工したばかりのM16ラインに、EUV露光装置の設置作業を1月15日に開始したと韓国の電子産業専門紙etnewsが報じている。SK Hynixはすでに2021年中に次世代DRAMプロセスとなる1a-nmをM16ラインに採用することを明らかにしており、DRAMへのEUV適用を進める模様だ。

同紙によると、EUV露光装置の価格は1台当たり1500億ウォン(約140億円)を超えるとしており、その調整には3～6か月ほどかかる見通しであるため、早くても実際に製造に適用されるようになるのは夏ごろになるとみられる。また、SK Hynixは、2022年には10nm級DRAMプロセスの第5世代にあたる1b-nmの開発を完了させ、量産適用を行う予定だという。

なお、EUV露光装置の開発・製造はASMLの一社独占となっており、ロジックに加えてDRAMでもEUV活用が進めば、生産能力が限られているEUV露光装置の奪い合いが激しくなることが予想される。