ルネサス エレクトロニクスは4月21日、同社の生産子会社であるルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリングの那珂工場の300mmウェハ対応ラインであるN3棟の1階床下から発煙があったことを発表した。

N3棟は3月19日に、めっき装置で生じた過電流が原因で火災が発生。各方面からの支援などを受け、4月17日に生産を再開したばかりであった。今回の発煙は同日16時30分ころに発生。発煙元は半導体製造装置ではなく、1階床下の自動搬送台車(RGV)の電源盤で、発煙後、すみやかに従業員によって鎮火されたという。人的被害はなかったという。

なお、消防による現場確認の結果、発煙元となった電源盤の保全をした上で、同日20時ころより、N3棟1階および2階における生産を再開しているとのことで、今回の発煙によって、4月19日に公表した今後の生産や製品出荷の見通しに影響はないとしている。