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レポート

EUVダブルパターニングを不要にするAMATの新技術「パターンシェイピング」

配線層と同じく、EUVダブルパターニングが適用されるビア部。ビアホールは主に上下の配線層をつなげるための縦の配線を形成するための穴。コンタクトホールはトランジスタの電極と配線層をつなげるための穴を指す

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