Lam ResearchがNIMSに寄付を実施、共同研究で半導体材料の挙動解明を目指す

Lam Research(ラムリサーチ)は、物質・材料研究機構(NIMS)に対して、先端半導体製造プロセスで使用される材料に関する共同研究を支援することを目的とした寄付を行ったことを発表した。同社が日本の国立研究機関に寄付を行うのは今回が初めてだという。

半導体製造時の材料挙動の変化の理解に向けて共同で研究

今回の寄付ならびに共同研究の主な目的は、半導体製造に必要な材料の挙動に関するメカニズムの理解を深めることで、製造環境の厳しさが増す中にあって提供するエンジニアリング上の意思決定を強化するものだと同社では説明している。

具体的には、半導体製造で見られる動作条件下において、高性能材料がどのように挙動し、変化していくのかを検証することが期待されているとする。

NIMSマテリアル基盤研究センター 先端解析分野 量子ビーム回折グループの 達博 主任研究員が主導する形で進められ、高エネルギープラズマ、反応性化学物質、ならびに継続的な運用によるストレスを伴う環境における材料性能の理解向上を図っていくという。

なお、今回の支援を受けて達 主任研究員は、「今回の支援は、材料科学研究を前進させる上で有意義なものであり、この研究が、着実な科学的進展につながるとともに、基礎研究と産業ニーズの橋渡しを強化するものになると期待している」とコメントしている。