HORIBAグループで半導体事業を担う堀場エステックは、チャンバー内の圧力測定に使用されるキャパシタンスマノメーターの新製品として「VG-500S」(隔膜式真空計)を12月17日に発売することを発表した。

  • キャパシタンスマノメーターの「VG-500S」

    キャパシタンスマノメーター「VG-500S」(出所:HORIBA)

半導体デバイスの微細化・三次元構造化が進む近年では、製造プロセスの複雑化が加速している。こうした状況下では、高品質な半導体の安定的な供給のために、より高度なプロセス管理や精密な制御が不可欠に。特に成膜やエッチング工程では、多様化が進む材料ガスの反応を精密に制御することが求められ、チャンバー内へのガス供給量の制御や、不純物の混入を防ぐためのチャンバー内の真空状態の維持が必要となるという。

また蒸気圧が低い材料ガスを用いる場合には、気化した後のガスが冷えて液体に戻らないよう、配管全体を加熱し温度を一定に保つ必要もあるとのこと。そのためこうした環境下で使用される真空計に対しては、気化した原料が結露や熱分解を起こさないように、センサ部自体を適切な温度に管理して圧力測定を行うことが求められるなど、さまざまな要求が寄せられている。

こうした背景から堀場エステックは、2015年の「VG-200」発売以来、高い精度と安定性が評価されてきた「VGシリーズ」の新製品として、高温プロセスでも優れた応答性能と安定した測定精度を両立する新製品「VG-500S」を開発。海外市場でも高い評価を得る既存製品「VG-200S」の特徴を継承するという同製品は、材料やプロセスに応じてセンサ部の温度を100～200℃の範囲で要望に合わせ設定できる仕様だといい、これによって結露や熱分解のリスクを低減し、安定した圧力測定を可能にするという。

また、圧力センサ部には独自アルゴリズムが採用されており、応答時間は従来比で約4倍に向上。ステンレスのダイアフラムを用いることで、高速応答と高精度測定の両立を可能にしたとのこと。今回のラインナップ拡充により、グローバルでの販売体制を強化するとともに、今後もさまざまな製品ラインナップと技術力により、半導体製造現場における高度な要求に応え、最適なプロセス管理ソリューションを提供するとした。

なお同製品は、12月17日～19日に東京ビッグサイトにて開催される「SEMICON Japan 2025」のHORIBAブースにて出展される予定だとしている。