三菱ケミカルグループ、半導体精密洗浄事業強化へ福島工場を新設 - 既存工場も増強

三菱ケミカルは、同社グループの新菱が、半導体精密洗浄事業の強化に向け福島工場を新設することを発表。既存の岩手工場も増強し、半導体製造装置などのパーツ洗浄能力を拡大することを明らかにした。

• パーツ洗浄サービスのイメージ(出所:三菱ケミカル)

半導体市場拡大に伴い2拠点の能力増強に着手

新菱が提供する半導体精密洗浄事業では、半導体製造装置メーカーや半導体デバイスメーカーをターゲットとして、パーツ洗浄サービスを提供している。

三菱ケミカルは、同社グループの精密洗浄技術について、パーティクル(塵や埃など)や金属不純物などナノ単位の汚れをきめ細かく除去し、必要に応じてパーツ表面を改質することで、半導体製造の歩留まりを向上させ、廃棄パーツ削減および環境負荷低減に貢献しているとする。また使用済みパーツだけでなく、新品パーツの洗浄も行っており、半導体製造装置の初期稼働不良低減にも寄与しているとのことだ。