東京エレクトロン(TEL)は3月31日、半導体市場の需要拡大に対応することを目的に、製造子会社である熊本県の東京エレクトロン九州 合志事業所に開発棟を新設することを発表した。
東京エレクトロン九州では、半導体向けコータ/デベロッパやサーフェスプレパレーション装置、FPD向けコータ/デベロッパの開発および製造を担当しているが、昨今の世界的なデジタル化を背景とした半導体需要の増加にともない、さらなる性能向上が求められることから、新たな開発棟を建設することで、そうした市場の拡大および多様化する技術ニーズを見据えた多くの開発案件に対応を図っていくことを目指すとしている。
新棟の概要は以下の通り。
- 所在地:熊本県合志市福原1-1
- 延床面積:約2万4200m2(予定、付帯設備エリア除く)
- 構造:鉄骨造/全免震構造
- 階数:地上3階(一部4階)
- 用途:コータ/デベロッパ、サーフェスプレパレーションなど半導体製造装置の開発
なお、新開発棟の着工は2023年春、竣工は2024年秋をそれぞれ予定しており、建設費用は約300億円を見込んでいるとしている。
新棟完成予想図 (出所:TEL)
