セイコーエプソンは、小型サイズ、低消費電力と高精度、高安定な計測性能を両立させた慣性計測ユニット(Inertial Measurement Unit:IMU)「S4E5A0A0」を開発、2011年7月よりサンプル出荷を開始することを発表した。

エプソンの開発した慣性計測ユニット「S4E5A0A0」

IMUは、わずかな傾きから大きな動きまでの慣性運動情報を正確に検出する機器で、従来は慣性運動について高精度・高安定な計測が必要な航空・宇宙分野などで、専用機器に組み込まれ利用されることが一般的であったが、最近は産業・工業分野向けのIMUも開発され、さまざまな製品への組み込みが進められているが、こうした新市場では、IMUの組み込みを容易にするために、精度や安定性を高めながら、さらなる小型化と低消費電力の実現が求められていた。

今回、同社では水晶微細加工技術「QMEMS」を活用して開発した水晶ジャイロ(角速度)センサと、GPSなど位置情報デバイスで培った半導体技術やノウハウを融合させた独自アプローチによるIMUの開発を行った。

同製品は、外計サイズ24mm×24mm×10mmで7gの本体重量と小型軽量で消費電力も動作電源電圧3.3V時で30mAを実現している。

また、±300deg/sの3軸ジャイロセンサと±3Gの3軸加速度センサを組み合わせた6軸センサを搭載したことにより、角度ランダムウォーク性能(精度)は0.24deg/√hr、ジャイロバイアス安定性(安定性)は6deg/hr、初期0点バイアス偏差(静止時の安定性)は±0.5deg/sをそれぞれ実現している。

さらに、産業、工業分野の標準インタフェースであるSPI、UARTを標準装備しており、組込機器への搭載を容易にしている。