ルネサス那珂工場が点検AIロボット「ugo mini」を導入、Sub-Fabの日常点検を省力化

この半導体ニュースのまとめ

・ルネサス那珂工場が点検AIロボット「ugo mini」を本導入
・2025年からの実証実験を経て段階的に増台し、現在は3台を運用
・Sub-Fabエリアを自律走行し、設備の撮影と点検データの連携を実施

ugoは10月1日、ルネサス エレクトロニクスの半導体前工程の製造子会社であるルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリングが運営する茨城県の那珂工場に、点検AIロボット「ugo mini」が本導入されたことを発表した。

今回の導入は、2025年から進めてきた実証実験の結果を踏まえたもの。実証実験を経て、需要の高まりを受けて段階的に増台され、現在は3台のugo miniが同工場内で運用されている。

導入先は、半導体工場のクリーンルーム内に設けられた付帯設備エリアである「Sub-Fab」。ugo miniがエリア内を自律走行し、設備の点検箇所をカメラで撮影してレポートに保存するほか、取得した点検データをAPI経由で既存の点検システムと連携することで省人化を図ることができるようになるとする。

ISO Class 6相当のSub-Fabで点検を自動化

半導体工場は施設面積が広く、多数の生産装置や付帯設備を備えるため、日常的な点検に多くの工数を要する。半導体業界で人材獲得競争が激しくなる中、ルネサスでは全社的なスマートファクトリー化を進め、点検業務を含む工場運営の効率化に取り組んでいるとする。

今回、ugo miniが導入されたSub-FabはISO Class 6相当の環境で、クリーンルーム内の生産設備を支える付帯設備が配置されている。

ugoは2026年6月、ugo miniについて、ISOクリーンルーム規格のClass 4相当環境での運用に適した水準であることを確認しており、今回のSub-Fabへの導入は、その知見を活用した取り組みとなる。

ugo miniは、伸縮・チルト機構を備えた4Kカメラと3D LiDARを搭載するAI点検ロボット。自律走行に加え、AIを活用したメーターの読み取りにも対応し、データセンターや精密機器工場など、静粛性や清潔さが求められる環境での設備点検を想定している。

他エリアや他拠点への展開も検討

ugo miniは2025年の発売以降、設備点検現場における自動化や省人化の用途で導入が進み、2026年3月には累計出荷台数が100台を超えたという。

ルネサス那珂工場での活用においては、今後、工場内のほかのエリアや、ルネサスの別拠点への展開も視野に入れて評価と検討が進められるという。ugoでは、半導体業界における点検業務の自動化ニーズに応えていくことを目指し、半導体工場のクリーンルーム環境における点検業務の自動化ニーズに対するロボット活用のすそ野拡大を目指していくとしている。