SCREEN ASとRist、半導体ウェハやプリント基板向け次世代型AI検査モデルの開発で協力

SCREENホールディングスでICTソリューション事業を推進するSCREENアドバンストシステムソリューションズ(SCREEN AS)と、京セラコミュニケーションシステムの子会社でAI技術の提供を行うRistは3月13日、多品種少量生産の現場でも最小限のチューニング作業で高い検査精度を実現する、半導体ウェハやプリント基板向けの次世代検査システムの開発において連携し、3カ年計画で「次世代型AI検査モデル」の開発を開始したことを発表した。

近年の半導体やプリント基板の回路の微細化の進展に伴い、検査の効率や精度の向上も求められるようになっている。こうしたニーズに対し、SCREEN ASはこれまで、半導体ウェハやプリント基板の検査装置向け外観検査AI開発を進めてきており、AIによる虚報フィルタリングシステムなどの検査・計測AIソリューションを展開してきたという。