ジェイテクトは、東京ビッグサイトで開催される半導体産業関連の国際展示会「SEMICON Japan 2024」(会期:12月11日~13日)に、ジェイテクトグループ各社と共に出展。ウエハー研削盤や砥石、特殊環境軸受など、半導体市場向けのソリューションを提案する。出展場所は東2ホール(小間番号2942)。

  • ジェイテクトのブースイメージ

ジェイテクトマシンシステムからはSiCなど硬脆材料のウエハー研削に対応する研削盤「DDT832」、ジェイテクトグラインディングツールからは超微粒ダイヤなどで切れ味と加工品質の安定化を図ったSiCウエハー平面研削用ビトリファイドダイヤモンドホイール「nanoVi」、硬脆材料研削用レジンダイヤモンドホイール「レボメイト」を出展。

  • ジェイテクトマシンシステムの硬脆材料ウエハー研削盤「DDT832」

  • (左から)SiCウエハー平面研削用ビトリファイドダイヤモンドホイール「nanoVi」、硬脆材料研削用レジンダイヤモンドホイール「レボメイト」

ジェイテクトは、ターボ分子ポンプ向けの磁気軸受と共に使われ、非常停止時にポンプを保護する保護用軸受(タッチダウン軸受)や、ウエハー搬送ロボットなどに幅広く使われているというKシリーズ軸受、高耐熱リチウムイオンキャパシタ「Libuddy」を搭載したメンテナンスフリーUPS(無停電電源装置)を出展する。

  • (左から)ジェイテクトのタッチダウン軸受、Kシリーズ軸受

  • 高耐熱リチウムイオンキャパシタ「Libuddy」