AGCは4月27日、同社の100％子会社であるAGCエレクトロニクスが手掛けるEUV露光用フォトマスクブランクス(EUVマスクブランクス)の生産能力増強を決定したと発表した。

  • AGCエレクトロニクスの本宮工場

    EUVマスクブランクスの製造を担当するAGCエレクトロニクスの本宮工場 (提供:AGC)

マスクブランクスは、半導体露光の際に使われるフォトマスクの元となるガラス基板で、今後のプロセスの微細化に伴うEUV露光装置の適用領域拡大でEUVマスクブランクスの需要も拡大することが見込まれること、ならびにさらなるプロセス微細化に必要とされる次世代EUVフォトマスクブランクスの生産に向け、今回、生産能力の増強を決定したと同社では説明している。

  • AGCのEUVフォトマスクブランクス

    AGCのEUVフォトマスクブランクス (提供:AGC)

なお、この生産能力増強分は2024年1月より稼働を開始する予定で、同社では段階的な増強を進め、AGCグループのEUVフォトマスクブランクスの生産能力を2025年には現在の約30％増とし、売上高400億円以上を目指すとしている。