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imecが進める18nmメタルピッチ完全自己整合ビアのセミダマシン配線技術開発

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imecが進める18nmメタルピッチ完全自己整合ビアのセミダマシン配線技術開発

imecが開発を進めている18nmメタルピッチの2層メタルレベルのセミダマシンモジュールについて、imecの研究者自身に現状などを説明してもらった。

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