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imecのパターニング責任者が語った半導体プロセス微細化の課題と革新

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imecのパターニング責任者が語った半導体プロセス微細化の課題と革新

imecの先端パターニング、プロセス、および材料(Advanced Patterning、Process and Materials)担当のシニアバイスプレジデントであるSteven Scheer氏が、短期的および長期的なパターニングの課題と革新的な解決策を語っている。

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