東工大など、従来の半分以下の低い温度で圧電体膜の製造に成功

(左)圧電定数の膜厚による変化。240℃で作製したままの膜は、膜厚22μmまで安定した圧電特性が得られることが確認された。一方、従来の600℃で熱処理したものは、クラックのせいで膜厚が7μmで早くも圧電特性が観測されなくなってしまう。(右)今回の研究でのセンサ性能定数(g31)とこれまでの報告値の比較 (出所:東北大IMRプレスリリースPDF)