SCREENホールディングスは12月16日、半導体製造装置事業における製品競争力の強化を目指し、米・ニューヨーク州に新たな研究開発拠点として「SCREEN Advanced Technology Center of America」(以下、ATCA)を12月1日に設立したことを発表した。

  • ATCAが入居するAlbany NanoTech Complex

    ATCAが入居するAlbany NanoTech Complex(出所:SCREENホールディングス)

全体のうち30％以上を“洗浄工程”が占める半導体製造装置において、微細化ニーズの高まりや半導体パッケージ技術の進展に伴い、成膜・回路形成前の洗浄やCMP(化学機械研磨)後の洗浄、選択的ウェットエッチング、後工程洗浄などを中心として、洗浄工程数は増加の一途をたどっており、高度な洗浄の重要性が一段と高まっているという。

こうした背景からSCREENは、製品の性能と対応力および環境性能を高め、高度化する業界のニーズに応えるため、米・ニューヨーク州にて最先端の半導体研究施設を運営する「NY Creates」(NYCR)と提携。そして、北米において先進的な非営利半導体関連研究センターである同社施設「Albany NanoTech Complex」内に、新たな研究拠点となるATCAを設立したとする。

総額120億円規模の設備投資(2027年3月期まで、リソースなどの費用は含まない)を行ったという新拠点は、929m2の面積を有するクリーンルームと462m2のオフィススペースから成るとのこと。今後はNYCRが所有するクリーンルーム内にSCREENの半導体製造装置を設置し、最先端デバイスの特性評価を行うことで次世代プロセスの開発を加速するとともに、顧客やコンソーシアム、大学・研究機関、サプライヤおよびNYCRに入居する他企業などの幅広いステークホルダーと協業する機会の拡充を図るという。

また、SCREENの要素技術に関する研究開発拠点の洛西事業所や、彦根事業所内に位置する半導体製造装置の開発拠点「プロセス技術センター」とも連携することで、同社が強みを有する洗浄領域だけでなく、熱処理・アドバンスドパッケージなどの先端技術領域における要素技術・装置開発に要する期間を短縮し、製品競争力の強化と付加価値向上を見込んでいるとした。

なおSCREENは、今後も企業価値向上に向けた取り組みを続けることで、半導体製造装置のさらなるシェア拡大、および収益性向上と競争力強化を図るとともに、環境性能の高い装置を半導体業界へ提供して、サステナブルな社会の実現に貢献するとしている。