200枚を一括処理可能な熱処理成膜装置を発売

東京エレクトロン(TEL)は12月15日、300mmウェハを一度に200枚処理することが可能な次世代バッチ式熱処理成膜装置「EVAROS」を発表した。

熱制御システムに新開発のマルチゾーン制御ヒーターを採用

バッチ式熱処理成膜装置の要とも言える熱制御システムには、温度の時間変化に対する追従性、応答性、安定性を示す動特性を強化した新開発のマルチゾーン制御ヒーターを採用することで高い均熱性の実現と昇降温や温度安定に必要な時間の短縮を実現したという。

また排気配管の大口径化により排気の際の流体の流れやすさの指標であるコンダクタンス特性を向上させたとするほか、先端デバイスに求められるALDプロセスなどで高精度かつ高品質な成膜コントロールを可能とするとしている。

さらに、ウェハ搬送機の自動ポジション調整機能によって、装置の据付時の時間短縮やメンテナンス作業の省力化を支援するほか、将来的な装置自律化に向けて多彩な機能を拡充できるよう新たなシステム・コントローラを搭載したという。

加えて、環境面での配慮として、消費電力および冷却水やガスなどの用力使用量の低減などが図られており、従来装置である「TELINDY PLUS」と比較して、ウェハ1枚あたりのCO2排出量を約25％削減することが可能だという。

なお、同社では、今後も顧客の幅広いニーズに対応することを目指して継続的な技術の進化と対応プロセスの拡充を進めていくとコメントしている。