東京エレクトロン九州の新開発棟が竣工

東京エレクトロン(TEL)は10月15日、同社の開発・製造子会社で主にコータ/デベロッパを手掛ける東京エレクトロン九州が熊本県合志市に建設を進めていた新開発棟(プロセス開発棟)が完成し、同日、竣工式を執り行ったことを発表した。

新開発棟は、延べ床面積は約2万7000m2(付帯設備エリア除く)で、全免震構造を取り入れた地上3階(一部4階)建ての鉄骨造りの建物。2023年10月より建設を開始し、かかった建設費用は約470億円。主にコータ/デベロッパならびに洗浄装置の開発が行われる予定だという。

コータ/デベロッパは、ウェハ上に露光装置で露光を行う際に反応する感光材(フォトレジスト)を塗布するための装置。TELは長年にわたって、同分野で強みを発揮し、高いシェアを獲得してきた。

新開発棟では、今後も続くプロセスの微細化で必要となる機能などを次世代のコータ/デベロッパなどに搭載することを目指した開発が行われていくこととなる。

なお、同社によると、新開発棟は次世代開発のあり方を実現するため、安全・品質・環境を優先とした開発はもちろんとしながらも、デジタル技術活用による開発の高度化や高効率な開発オペレーションを行っていくことを目指すとしている。