三菱ケミカルグループは12月19日、半導体用シリコンインゴットの製造に用いられる石英るつぼや半導体製造装置内部の高純度石英パーツの原料として用いられる合成石英粉「三菱合成石英」の同社九州事業所・福岡地区における生産能力増強を決定したことを発表した。

石英るつぼの表面は、シリコンインゴットの製造工程において、ウェハの品質を劣化させる不純物の混入を抑制する必要性から高い純度が求められている。

同製品は長年培った製造技術を生かすことで砂状シリカとして高い純度を実現しており、そうしたニーズに対応するものだという。

今回の投資は、半導体市場の継続的な成長に伴う需要に応えることを目的に行われるもので、稼働時期は2028年9月を予定。新設備の稼働により、生産能力は現在と比べて35％増しになるという。

  • 三菱合成石英

    三菱合成石英 (出所:三菱ケミカルグループ)

  • シリコンインゴット製造用石英るつぼでの使用イメージ

    シリコンインゴット製造用石英るつぼでの使用イメージ (出所:三菱ケミカルグループ)