荏原製作所は12月19日、同社の熊本事業所内にある熊本工場にて建設が進められていた新生産棟(K3棟)が竣工したことを発表した。

K3棟では、同社精密・電子カンパニーの主力製品であるCMP装置をはじめとした半導体製造装置の製造が行われる予定で、建築面積は約7700m2、延べ床面積は約1万9400m2、地上4階建てとなっている。

同社の熊本工場は2001年に第1棟(K1棟)の操業を開始した後、CMP装置をはじめとする半導体製造装置の需要の高まりを受けて2016年にはK2棟が稼働させている。

K3棟は、2025年度第2四半期からの稼働開始を予定しており、これにより同社の半導体製造装置生産能力は従来比で1.5倍を超す規模にまで拡大される見通しとなる。

  • 荏原製作所の熊本工場新生産棟(K3棟)の外観

    荏原製作所の熊本工場新生産棟(K3棟)の外観 (出所:荏原製作所)