九州大学(九大)が、EUV光照射と解析評価サービスを提供する事業会社「EUVフォトン」を、2024年4月1日付で九大100％子会社として設立した「九大OIP」を通じて7月29日付で設立した。

EUVは最先端のロジック半導体やDRAMの製造に用いられているが、現在、そうしたEUV光を用いた研究開発は海外の試験研究機関に頼っており、輸出規制による試料輸送の長期化や照射にかかるコスト、海外へのノウハウ流出などが懸念されている。

EUVフォトンでは、EUV光の照射サービスを2025年度中に開始したいとしているほか、照射結果を解析評価できる人材の育成にも取り組むとしており、本格的なEUVの活用時代への対応を図っていくとする。また、九大としても、より中長期的な研究開発課題に対応するため、EUVフォトンの提供するサービスをテコに、半導体開発に関する共同研究・人材育成の活性化を図っていくとしている。