ただし、これまでのスパッタ法では、スパッタエリアが広くなると成膜ムラが生じやすく、大面積化に課題があり、10cm×10cmの成膜が限界であったという。そこで今回の研究では、酸素濃度の最適化や、プラズマエネルギー量の最適化、造孔材の最適化などを行うことで、1回につき最大5m2の均等な成膜を可能としたという。ちなみに、このサイズは200kW弱の水電解電極に相当するという。
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今回の研究は膜厚の均一性を成膜条件の最適化により向上。最大5m2の良質な成膜を可能としたとする (資料提供:東芝)
なお、同社では、電極だけができても水電解はできないため、製品化に向けMEAを試作。すでに同社外の水電解装置メーカーにて、評価試験を進めてもらっているという。今後は、MEAの量産化に向け、東芝エネルギーシステムズと連携し、MEAの製品化に向けた条件出しを行い、歩留まりの向上や品質の改善を進めていく予定としており、2023年度以降の製品化を目指すとしている。
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まだ水電解装置として提供するためには、MEAとしての性能評価などを行う必要があるため、それを終えた2023年度以降の製品化を目指すとしている (資料提供:東芝)
