IC Insightsによると、MEMSベースのセンサとアクチュエータは、2020年に新型コロナウイルス感染症(COVID-19)の世界的な感染拡大の影響から一時低迷したが、後半に入り回復傾向となったことから、2020年～2025年にかけての年平均成長率(CAGR)は11.8％で、2025年には241億ドルに達し、出荷数量もCAGR13.4％で成長し、321億個に達するという。

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    MEMSベースのセンサ・アクチュエータ市場規模と出荷数量の推移 (出所:IC Insights)

同社によると、2020年のセンサ/アクチュエータ市場は165億ドルで、その約83％がMEMSで構築されたデバイスによるものであり、そのうちの約44％が自動車向けであったという。また、同年の出荷個数は309億個で、そのうち約55％がMEMSによるものだとしている。

なお、MEMSベースの圧力センサ、マイクロフォンチップ、加速度計、ジャイロスコープ、およびアクチュエータの各市場は、2024年まで毎年2桁％増の成長が続くと予想されるが、2024年には周期的な景気減速によって成長率は前年比4％増と減速するが、2025年には同9％増と成長基調に戻るとIC Insightsでは予測している。