1月28日～2月2日にかけて米国カリフォルニア州サンフランシスコ市で開催されている国際会議/展示会「SPIE Photonics West」において、ベルギーの独立系半導体ナノテク研究機関imecは、新たに開発した三原色(赤/緑/青:RGB)フィルタおよび狭帯域近赤外光(NIR)フィルタを統合したイメージセンサを発表した。

この光学フィルタ統合プラットフォームは、標準RGBカラーフィルタとNIRカットフィルタ、NIRバンドパスフィルタ、オンチップマイクロレンズを一緒に集積したもの。近赤外光信号を抽出し、カラー画像上に重ね合わせて表示する必要のある医療、産業、セキュリティ監視、自動車から仮想現実および拡張現実まで、さまざまなアプリケーションに適用可能であるという。

imecのプログラムマネージャーAndy Lambrechts氏は、「RGB画素上にNIRカットフィルタを載せてNIRを除いた真の3原色を狭帯域NIR検出センサと組み合わせることは、肉眼では見えないNIRを検出し、追跡する必要がある今後のさまざまな先進アプリケーションに必要となるだろう」と説明する。

今回の技術は、CMOSプロセスの微細化の知見を生かして、自社の半導体試作ファブ、製造設備、プロセス技術を用いて、干渉にもとづく光学フィルタをウェハレベルで設計し試作したもので、CMOSイメージセンサの画素の上に直接堆積しパターニングを施したものでもあり、imecでは、将来の量産も配慮した構造だと説明している。

なお、イメージセンサとカメラの試作品は、SPIE Photonics Westの会場にて展示実演が行われており、imecの戦略的なパートナーのために評価用サンプルの提供が可能な状態にあるという。

図1 RGB+NIRマルチスペクトル・イメージセンサの外観 (出所:imec)

図2 RGB+NIRフィルタのスペクトル曲線 (出所:imec)