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化学素材メーカーで、メモリ向けALD材料をはじめ、EUVフォトレジスト向け光酸発生剤、金属酸化物レジスト用金属化合物などを手掛ける「ADEKA」の最新動向や技術情報などをお届けします。

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ADEKA、EUVフォトレジスト向け光酸発生剤の生産能力を倍増　千葉工場に約10億円を投資

2026/08/20 18:30

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