半導体洗浄時におけるナノ構造物の倒壊の様子、北大などが詳細観察に成功

シリコンナノピラーが倒壊する様子をその場観察した透過型電子顕微鏡像(右)と模式図(左)。まず蒸発が早く進むことで、液面のより下がったナノピラー間に働く力によりナノピラー同士が付着する(上段)。その後、乾燥が進むと最後に先端部に残る液だまりがナノピラー同士を接着させる(下段)。この2つのプロセスによりシリコンナノピラーは倒壊する (出所:プレスリリースPDF)