β-Ga2O3結晶の成長駆動力(上図)と、トリエチルガリウムガス(TEG)と酸素の化学反応によって生じるH2、CO、H2O、CO2の平衡分圧(下図)を供給VI/III比に対して解析した結果(供給VI/III比はTEG供給に対する酸素供給の比率) (出所:農工大Webサイト)
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